上海伯東 Pfeiffer 真空泵選型指南
隨著真空獲得技術的發展, 真空應用日漸擴大到工業和科學研究的各個方面. 真空應用主要分為低真空, 中真空, 高真空和超高真空. 上海伯東代理德國 Pfeiffer 擁有 20000 多種產品, 為各個真空環節提供合適的產品, 以適用每種真空工藝的需要.
不同標準和類型的泵的特性各不相同, 上海伯東可為您推薦具體的應用選擇合適的泵.例如在需要大量抽水的應用中, 旋片泵必須在溫暖的工作溫度下運行. 此外, 氣鎮閥必須打開, 這可以防止干燥過程中由于蒸汽沒有被抽掉而發生冷凝. 這樣還避免了由于工作液稀釋而導致泵潤滑不足的問題. 在冶金工藝中, 載塵應用需要除塵器. 除塵器安裝在工藝室和真空泵之間, 用來保護轉子, 軸承和機械密封件. 這樣, 泵可以承受諸如燒結, 滲氮, 硬化, 電子束焊接以及建筑玻璃鍍膜和 PVD 或 CVD 工藝等的工藝要求.
工藝 | 應用 | 泵的標準 | 使用的真空泵 |
低 / 中真空 | 高真空 |
泵類型 | 抽速 m3/h | 真空度
hPa | 泵類型 | 抽速 l/s | 真空度
hPa |
冶金 | 退火, 釬焊, 燒結, 鑄造, 硬化, 氮化 | 重粉塵,蠟,NH3（氮化）,助焊劑 | 旋片泵或干式泵或羅茨泵組合 | 500 至 8000 | 1 至 10-3 | 渦輪分子泵 | 700 至 3,000 | 10-3 至 10-8 |
電子束焊接 | 金屬粉塵,濕度,電子槍上的 X 射線 | 旋片泵或干式泵或羅茨泵組合 | 500 至 8000 | 10-2至 10-4 | 渦輪分子泵 | 300 至 1000 | 高達 10-7 |
冷凍干燥 | 實驗室,制藥,食品 | H2O,溶劑 | 兩級旋片泵 | 2 至 20
1000 至 2000 | < 10-2 | | | |
制藥 | H2O | 兩級羅茨泵或干式泵組合 | 1000 至 2000 | < 10-3 | | | |
食品 | H2O,酸,鞣劑 | 多級羅茨泵或旋片泵或干式泵組合 | 500 至 4000 | < 10-2 | | | |
變壓器干燥 | 線圈干燥,充油過程中的抽氣 | H2O,丹寧酸,蠟,聚合物 | 多級羅茨泵或旋片泵或干式泵組合 | 1000 至 12000 | < 10-2 | | | |
油脫氣 | H2O | 兩級旋片泵,多級羅茨泵或旋片泵組合 | 150 至 250
500 至 2000 | < 10-2 | | | |
泄漏檢測 | 汽車零部件,包裝,桶,真空系統 | 批量變化時室壁上的 H2O,潮濕的塑料 | 兩級旋片泵,多級羅茨泵或旋片泵組合 | 5 至 65 或
1000 至 2000
氦氣檢漏儀 | < 10-2至< 10-3 | 渦輪分子泵 | 70 至 700 | <10-6 |
醫療加速器 | 在光束線和離子/電子同步加速器中產生超高真空 | 伽瑪射線和中子射線很好的 H2 抽速 | 隔膜泵, 單級旋片泵, 離子吸氣泵 | 2 至 4
< 100 | 2 至 3
< 1 | 渦輪分子泵 | 70 至 700 | <10-6至10-8 |
等離子體處理 | 滅菌 | 通過 H2O2, 臭氧的強氧化 | 兩級旋片泵 | 5 至 20 | < 10-2 | |
清潔 | 臭氧,氨 | 干式泵 | 25 至 40 | < 10-1 |
真空灌裝 | 汽車零部件, 如制動器, 空調, 伺服機構, 制冷壓縮機 | 侵蝕性制動液,致冷劑 (Atex) | 特殊版本的單級和兩極旋片泵 | 10 至 65 | < 10-2 | |
電池生產 | 干燥, 填充, 泄漏檢測 | 腐蝕性電解質,鹽 | 單級旋片泵, 兩極旋片泵, 干式泵, 氦氣檢漏儀 | 200 至 600
10 至 250
25至 600 | 0,1 至 10-2 | |
特殊氣體 | 氣缸排空, 特征化 / 純凈, 填充 | 腐蝕, 污染預防 | 旋片泵, 羅茨泵, 干式泵, 質譜儀, 氦氣檢漏儀 | 20 至 65
250 至 1000
15 至 40
1-300 amu | 10-2 至 10-3 | |
真空鍍膜 | 玻璃 | 粉塵, 碎玻璃 | 單級旋片泵或羅茨泵組合 | 600 至 2000 | < 10-3 | 渦輪分子泵 | 2000 | 10-3 至 10-4 |
預載室 | 機械應力 | 單級旋片泵，干式泵 | 500 至 600 | >5 | | | |
光學鍍膜, | 粉塵 | 單級旋片泵或羅茨泵組合 | 650 至 2000 | < 5X10-2 | 渦輪分子泵 | 1500 至 2000 | 10-3 至 10-5 |
預載室 | 機械應力 | 單級旋片泵或羅茨泵組合 | 500 至 600 | < 5 X 10-2 | | | |
磨損保護, | 粉塵 | 兩級旋片泵或羅茨泵組合 | 600 至 1000 | < 1至 5 | 渦輪分子泵 | 1500 至 2000 | 10-3至 10-6 |
預載室 | 機械應力 | 單級旋片泵或羅茨泵組合 | 500 至 600 | < 5 X 10-2 | | | |
太陽能 | PVD | 粉塵 | 干式泵或羅茨泵組合 | 600 至 2000 | 10-3 至 10-5 | 渦輪分子泵 | 1200 至 2000 | 10-3 至 10-5 |
CVD | 粉塵, 升華 | 干式泵或羅茨泵組合 | 600 至 4000 | < 200 | | | |
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