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技術文章

真空鍍膜常見術語中英文對照

閱讀：0發布時間：2025-3-22

真空鍍膜常見術語中英文對照:
濺射: Sputtering
靶材: Target
離子濺射鍍膜: Ion Beam Sputter Deposition, 簡稱 IBSD
離子輔助鍍膜: Ion Beam Assisted Deposition, 簡稱 IBAD
離子清洗, 預清潔: Pre-clean, 簡稱 PC
電子槍蒸鍍鍍膜機: e-gun coater
分布式布拉格反射鏡: Distributed Bragg Reflection, 簡稱 DBR
離子蝕刻: Ion Beam Etching, 簡稱 IBE


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