溫度是指兩個方面，一個是測量室的環境溫度，另一個是三坐標測量機的工作溫度和被測部件的溫度。在產品幾何規格（GPS）中，“幾何產品規格和測試的標準參考溫度”定義為20°C。因此，應用于圖紙上零件的所有尺寸和公差應在20°C下測量。
1.測量機的正常工作溫度應為20℃±2℃。由于在此溫度條件下對測量機進行組裝和調試，并且還要根據20℃對測量機的光柵尺進行校正，所以當溫度偏差較大時，會對零件的測量精度產生很大的影響。因此，測量儀應在工作前進行預熱。使用測量機時，必須盡力保持測量機的影響力。
2.還必須注意室內空調的安裝。由于空調的出風口溫度與室內溫度不一致，因此不應將空調空氣直接吹到測量機上。合理的方法是讓空調器的風吹到房間的主要位置，并且使風向向上形成一個循環，并盡量將測量室的溫度保持在20℃。
3.機房的結構也會影響室溫。如果測量設備室有窗戶，則應使用雙層玻璃以避免陽光直射。陽光不能直接照射到測量儀上，否則會導致測量儀局部溫度變化并影響測量精度。
4.在對機械零件進行精確測量時，工件的恒定溫度也非常重要。在實際的加工環境中，工件的熱膨脹和收縮非常復雜，并且受諸如加工材料，加工方法和工具材料等各種因素的影響。如果零件的溫度恒定或老化時間不足，則工件的外部溫度和內部溫度可能不一致，這將給測量帶來誤差。因此，零件的恒溫測量也非常重要。
盡管現在大多數測量機都具有溫度補償功能，以補償由于測量機和部件溫度偏離20°C而引起的長度誤差，但我們仍然需要注意溫度變化對測量精度的影響。日常測量工作，并盡量減少這種影響因素。
