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北京英格海德分析技術有限公司
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A system for UHV analysis of neutrals, radicals and ions. Measures the ions, neutrals, and partial pressures in UHV/XHV.
EPIC離子/分子分析質譜儀(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是帶脈沖離子計數和四級桿偏壓控制的三級過濾四極質譜儀，用于高精密科學分析，過程研究以及中性粒子、自由基、正負離子的UHV分析。
EPIC離子/分子分析質譜儀可增加能量過濾器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器，升級至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP，EQS，PSM 和Maxim。
·6、9、12 mm 直徑的四極桿可選
·±100 eV離子能量分布，1000 eV可選
·離子源控制，以實現軟離子化及表觀電勢質譜
·脈沖離子計數器，連續7個數量級動態范圍，Faraday 選項為5x1010
·一級過濾處增加射頻，增強抗污染物能力
·信號選通分辨率0.1μs，用于能量、質量分布隨時間變化或TOF研究中
·程序升溫脫附時，溫度數值同步顯示
·標配UHV罩，液氮冷卻罩可選
·MASsoft專業軟件控制
·可升級至Plasma/ SIMS 配置
·質量數范圍： 1～300 amu（標準配置）
500、1000、2500 amu（選配）
·測量速度： 500 points/s
·分辨率： 0.1% Valley、1% Valley
·動態范圍： 107
·檢測分壓： 5 X 10-15 mbar ，1X10-16 mbar
·離子能量： ±100eV（標準配置）
±1000eV（選配）
·信號選通分辨率：0.1µs
·穩定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%
3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)
Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)
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