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EQS二次離子質(zhì)譜探針

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2024-01-05 14:59:55瀏覽次數(shù)：184次

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產(chǎn)品簡介

EQS二次離子質(zhì)譜探針采用新技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學研究反應(yīng)室。

詳細介紹

EQS二次離子質(zhì)譜探針儀器簡介：
EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用新技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學研究反應(yīng)室。

技術(shù)參數(shù)：
應(yīng)用：

   · 靜態(tài) /動態(tài)SIMS 
   · 一般目的的表面分析
   · 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS 
   · 兼容的離子槍/ FAB 槍 
   · 成分/污染物分析 
   · 深度分析
   · 泄漏檢測
   · 與Hiden SIMS 工作站兼容

EQS二次離子質(zhì)譜探針 主要特點：
· 高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
   · SIMS 成像，分辨率在微米以下 
   · 光柵控制，增強深度分析能力
   · 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM. 
   · 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的小擾動，及恒定離子傳輸
   · 差式泵3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
   · 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
   · Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
   · 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制

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