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Chotest SJ6000激光干涉儀

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更新時間：2025-04-12 09:59:31瀏覽次數：19次

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上海伊豐精密儀器有限公司

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產品簡介

Chotest SJ6000激光干涉儀產品簡介：SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態分析。

詳細介紹

技術指標

系統性能
² 測量方式：單頻
² 穩頻精度：0.05ppm
² 動態采集頻率：50 kHz
² 預熱時間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~38℃
² 環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%
² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
² 測量距離：0-40m
² 測量精度：0.5ppm (0-38℃)
² 測量分辨率：1nm
² 測量速度：3m/sec
角度測量
² 軸向量程：0-15m
² 測量范圍：±10°
² 測量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.1″
平面度測量
² 軸向量程：0-15 m
² 測量范圍：±1.5 mm
² 測量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）
² 基板尺寸：50mm、100mm、150mm
測量分辨率：0.1μm
直線度測量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測量范圍：±3.5 mm
² 測量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程：0.1-3.0 m
測量范圍：±3.5mm
² 測量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）
² 測量分辨率：0.01μm/m
回轉軸分度精度測量
² 角度測量范圍：0-360°
² 精密轉臺角度增量：5°
² 精密轉臺分度精度：±1″
² 精密轉臺重復性：0.2″