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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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| 名稱 | 大型等離子清洗機 |
| 型號 | TS-PL700MA |
| 外形尺寸（W×D×H） | 1400×650×800mm |
| 反應腔尺寸（W×H×D） | 2300×1250×1850mm |
| 真空腔體材料 | 進口316L不銹鋼 |
| 真空泵 | 進口品牌、二級泵 （干泵+羅茨組合） （油泵+羅茨組合） |
| 角閥 | Youch 超高真空60KF |
| 流量控制儀及顯示儀 | Sevenstar 0-800ml/min |
| 真空顯示規管及讀取器 | Pirani |
| 射頻電源 | 美國進口品牌40KHZ 13.56MHZ |
| PLC系統 | 三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模組兩組，溫度模塊） |
| 電器系統 | 施耐德 |
| 變頻器 | 西門子2KW |
| 觸摸屏 | 中國臺灣威綸真彩10.7寸 |
| 陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
| 處理氣體 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
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