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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品介紹名稱真空石英等離子清洗機型號TS-SY05外形尺寸（W×H×D）600×420×320mm反應腔容量Φ160×240mm反應腔體材料石英真空泵BOSS合資4L/S角閥超真空40KF射頻電源13
| 名稱 | 真空石英等離子清洗機 |
| 型號 | TS-SY05 |
| 外形尺寸（W×H×D） | 600×420×320mm |
| 反應腔容量 | Φ160×240mm |
| 反應腔體材料 | 石英 |
| 真空泵 | BOSS合資4L/S |
| 角閥 | 超真空40KF |
| 射頻電源 | 13.56MHZ |
| PLC系統 | 松下 |
| 電氣系統 | 施耐德 |
| 觸摸屏 | 松下4.3寸 顯控 |
| 陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
| 處理氣體 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 |
| 輸出功率 | 0-300W可調 |
綠色環保、不使用化學溶劑、無二次污染、操作簡便、使用和維護成本極低。
石英型等離子清洗器采用電感耦合式工作原理，在微波管、零件絕緣方面作用很突出，適用于高潔凈度的敏感產品處理；廣泛地被大中院校、科研機構、企業研發機構和實驗室采用。其產品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。
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