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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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| 名稱 | 中型立式真空等離子機 |
| 型號 | TS-PL120MA |
| 外形尺寸（W×H×D） | 1300mm×930mm×1900mm |
| 反應腔尺寸（W×H×D） | 500×500×500mm |
| 真空腔體材料 | 進口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 進口品牌 4L/S |
| 角閥 | 北儀 超真空40KF |
| 流量控制器及顯示儀 | sevenstar ?0-800ml/min |
| 真空顯示規管及讀取器 | Pirani |
| 射頻電源 | 美國品牌 40KHZ、100KHZ 13.56MHZ 、2.45GHZ |
| PLC系統 | 三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模塊兩組，溫度模塊） |
| 電氣系統 | 施耐德 |
| 變頻器 | 西門子2KW |
| 觸摸屏 | 中國臺灣威綸真彩10.7寸 |
| 陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
| 處理氣體 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
120升真空等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、活化和表面準備等；去除有機污染物、油污或油脂；增強材料表面邦；提高材料表面浸潤能力；等離子處理后涂覆/涂鍍。定性可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發生器，以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。
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