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更新時間:2022-09-27 16:10:28瀏覽次數(shù):244次
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MEMS 硫化氫氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當…
MEMS 硫化氫氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時,傳感器的電導率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高,傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
GM-602B硫化氫氣體傳感器采用MEMS工藝,結(jié)構(gòu)堅固,對硫化氫靈敏度高;具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點。
GM-602B硫化氫氣體傳感器主要應用于便攜式與固定式硫化氫監(jiān)測器;硫化氫檢測儀。
產(chǎn)品型號 | GM-602B | ||
產(chǎn)品類型 | MEMS硫化氫氣體傳感器 | ||
標準封裝 | 陶瓷封裝 | ||
檢測氣體 | 硫化氫、苯等 | ||
檢測濃度 | 0.5~500ppm(H2S) | ||
標準電路條件 | 回路電壓 | Vc | ≤24V DC |
加熱電壓 | VH | 1.9V±0.1V AC or DC | |
負載電阻 | RL | 可調(diào) | |
標準測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 80Ω±20Ω(室溫) |
加熱功耗 | PH | ≤40mW | |
敏感體表面電阻 | Rs | 1KΩ~30KΩ(in 50ppmH2S | |
靈敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 50ppmH2S)≥3 | |
濃度斜率 | α | ≤0.6(R200ppm/R50ppmH2S) | |
標準測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃;55%±5%RH | |
標準測試電路 | Vc:5.0V±0.1V; VH:1.9V±0.1V |
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