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更新時(shí)間：2022-09-27 15:47:27瀏覽次數(shù)：258次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智慧城市網(wǎng)108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜
108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
技術(shù)參數(shù)
| 濺射系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑 |
| 靶材 | 標(biāo)配黃金Au靶，Pt等其它靶材可選 大小：直徑 |
| 樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為 |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖 |
| 濺射電流 | 5~45mA可調(diào) |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
| 計(jì)量表 | 真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA |
| 厚度監(jiān)控 | 使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度 |
| 控制方法 | 具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器（5－300s） |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | |
| 極限真空 | 5 x 10-3mba |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
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