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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品型號

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更新時間：2022-10-05 12:41:01瀏覽次數(shù)：238次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達50mm，鍍膜厚度可達300Å，特別適用于SEM樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；  特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀體積小，操作簡單，適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。

產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得的鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：220V

2、總功率：<2000W（包括真空泵）

3、真空室：Ø160mm×120mm

4、樣品臺：Ø50mm，且高度可調(diào)，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜

5、max均勻鍍膜：Ø45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：400mm×300mm×400mm；重量：30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1個

2

進氣針閥

1個

3

保險絲

2個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材


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