PMS 橢偏在線監測裝備

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更新時間：2024-10-24 06:58:58瀏覽次數：60次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

PMS 橢偏在線監測裝備

詳細介紹

產品簡介：橢偏在線監測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量光學薄膜質量控制需要，專門設計的在線薄膜測量系統?？蛇m用于空氣、N2、真空等環境條件，自動實現玻璃基板上各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的全片快速掃描測量。橢偏在線監測裝備廣泛應用于工業中新型光電器件行業所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發光薄膜、有機/無機封裝薄膜大基片各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的在線式全片快速掃描測量。

產品型號	PMS 橢偏在線監測裝備
主要特點	1、支持產線大基片自定義多點掃描測量并輸出報告 2、支持193-2500nm全波段分析測量 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化
技術參數	測頭規格	穆勒矩陣橢偏測頭	光譜橢偏測頭	反射膜厚測頭
	自動化程度	可變/固定角+ mapping	可變/固定角+ mapping	垂直角+ mapping
	應用定位	高階高精度型	高精度型	通用型
	單次測量時間	0.5-5s		小于1s
	分析光譜	380-1000m(支持擴展至193-2500nm)		380-1100nm
	Mapping行程	支持行程定制化
	支持樣件尺寸	安需定制化