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上海爾迪儀器科技有限公司
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更新時間:2024-09-12 21:45:07瀏覽次數(shù):170次
聯(lián)系我時,請告知來自 智慧城市網(wǎng)Diener 等離子表面處理儀 Bel Jar35
·外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
·腔室容積:約 35 升
·供電電源:230 V / 16 A
·氣體供給:3 個質(zhì)量流量控制器 (MFC)
·真空腔室: 硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm
·濺射源: 1 個濺射源 2" - 3" + 擋板(針對反應(yīng)性過程,可選配排煙管和進(jìn)氣口)
·基材支架: ∅ 140 mm(可選擇旋轉(zhuǎn)型、基材加熱裝置、基材冷卻裝置), 可切換為等離子預(yù)處理的電極(清洗、活化、蝕刻)
·控制系統(tǒng):PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)
·壓力測量裝置: Pirani
·真空泵: 不同規(guī)格,來自不同制造商(根據(jù)需要配備活性炭過濾器)
·備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉第籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)。
·發(fā)生器頻率: 40 kHz:功率 0 - 500 W
·3.56 MHz:功率 0 - 300 W
·直流偏置電源或單極性脈沖
·功率為 300 W 電壓為 600 V DC
·發(fā)生器為 0 - 99% 無級可調(diào)型
技術(shù)數(shù)據(jù):
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