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行業(yè)產(chǎn)品

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司


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真空傳輸平臺(tái)DIAGRAM 600

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-06-05 18:36:34瀏覽次數(shù):530次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一體化程度高,自動(dòng)化程度高,擁有新松自主研發(fā)的真空機(jī)械手,真空預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置及晶圓盒真空升降傳輸裝置,帶有迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)的用戶可定制端口;

詳細(xì)介紹

Diagram600晶圓傳輸平臺(tái),符合集成電路工藝精度和凈化要求,并具有高精度、高效率、高潔凈度和高可靠性,是鏈接物料搬運(yùn)系統(tǒng)與硅片處理系統(tǒng)的橋梁,能夠保證硅片在不受污染的條件下被準(zhǔn)確安全的傳輸。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用,對(duì)設(shè)備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務(wù),快速響應(yīng)的售后服務(wù),以及敦實(shí)的技術(shù)實(shí)力,是我們的主要競(jìng)爭(zhēng)力。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步,有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。

參數(shù):

Item

Specification

晶圓類型

Wafer types

SEMI standard silicon wafers

晶圓尺寸Wafer Size

100mm,150mm, 200mm

定位標(biāo)記

Alignment Mark

Notch & Flat

厚度thickness

150mm wafer: 0.675mm±10%;

200mm wafer: 0.75mm±10%

Cassette類型

Cassette types

configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.

傳輸平臺(tái)

Transport Plane

900 mm at VCE platform(SEMI-std)
1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot centerline)

晶圓取放精度

Wafer placement repeatability

0.2mm

真空度Vacuum level

rough pumping: 5 mTorr

漏率Leak rate

0.5 mTorr/minTest after 24 hours pump



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