采用磁流體密封技術(shù)，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，具有*的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能，通過(guò)SEMI認(rèn)證，MCBF大于1000萬(wàn)次，同時(shí)具備超高潔凈度，耐高溫、耐腐蝕，負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，負(fù)載、手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。是大負(fù)載真空機(jī)械手的*之選。

詳細(xì)介紹

Titan1500C作為L(zhǎng)ED芯片制造領(lǐng)域的真空機(jī)械手產(chǎn)品，大負(fù)載真空機(jī)械手主要用于LED芯片制造過(guò)程中，實(shí)現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤(pán)在各個(gè)工藝腔室間的傳送，具有真空度高，傳輸效率高，負(fù)載能力強(qiáng)，耐高溫等特點(diǎn)，大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機(jī)械手的基礎(chǔ)上，針對(duì)其大負(fù)載需求，創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律，使其能夠達(dá)到12kg的負(fù)載能力，同時(shí)保持很小的占用體積，保持高耐真空度及潔凈等級(jí)。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure		柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驅(qū)動(dòng)方式Driving method		伺服電機(jī)Servo Motor
手?jǐn)?shù)量Number of Arm		單臂Single Arm
負(fù)載Payload	名稱Name	托盤(pán)Tray
	直徑Diameter	Φ716mm
	重量Weight	≤12kg
自由度數(shù)DOF		3
手臂長(zhǎng)度Arm Length		355mm
手指長(zhǎng)度（安裝中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center)		810mm
運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range	R軸R-axis	≤1500mm
	θ軸θ-axis	無(wú)限回轉(zhuǎn)Infinite Rotation
	Z軸Z-axis	150mm
全行程最小時(shí)間 Swap time	R軸R-axis	＜27.8s（Home to Extend 1500mm）
	θ軸θ-axis	＜15s(180°)
	Z軸Z-axis	13s（150mm）
重復(fù)定位精度Repeatability	R軸R-axis	±0.2mm(3σ)
	θ軸θ-axis	±0.2mm(3σ)
	Z軸Z-axis	±0.2mm(3σ)
最小回轉(zhuǎn)半徑Robot Clearance Radius		762.5mm
下垂量Deflection		5mm
真空度 Vacuum level		＜5×10^-9 Torr
漏率Leak Rate		＜1×10^-9 std.cc/sec He
電源Electrical		208VAC(50Hz/60Hz)
電源范圍電壓波動(dòng)范圍		單相交流208V +10%，-15%
通信接口Communication Network		Ethernet
重量Drive body+arm set weight		195kg
行程		1500mm

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