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使用微型 ATR FTIR 成像系統在電子和半導體行業中進行無損故障/缺陷分析

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下載地址2:使用微型ATRFTIR成像系統在電子和半導體行業中進行無損故障/缺陷分析電子和半導體行業高度依賴于故障和缺陷分析,以提高工作效率并縮短昂貴的停機時間

詳細介紹


下載地址2:使用微型 ATR FTIR 成像系統在電子和半導體行業中進行無損故障/缺陷分析


電子和半導體行業高度依賴于故障和缺陷分析,以提高工作效率并縮短昂貴的停機時間。隨著技術的不斷發展,生產出的設備越來越小巧,而其生產工藝也越來越復雜精細。因存在顆粒物和化學污染物引起的高成本停機對正常生產操作的影響越來越大。任何污染物的出現都需要停止生產過程,同時準確并可靠地表征缺陷、確定污染源并設法補救。限度縮短完成這一過程所需的時間,

實際上能夠節省數百萬美元之多。

 

安捷倫 Cary 620 化學成像系統利用 FPA(二維矩陣檢測器元件,可產生行和列像素)來采集精密組件表面的真實組成圖像。

 

關鍵詞:成像系統
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