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所 在 地無錫市
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更新時(shí)間:2022-11-22 18:56:07瀏覽次數(shù):531次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 智慧城市網(wǎng)半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水,純水主要用作清洗用水 以及用來配制各種溶液、漿料。 純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一,水質(zhì)的要求也越來越高。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ·cm、15 MΩ·cm、10 MΩ·cm、2 MΩ·cm、0.5 MΩ·cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
1、概述
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水,純水主要用作清洗用水 以及用來配制各種溶液、漿料。
純水水質(zhì)已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率以及生產(chǎn)成本的重要因素之一,水質(zhì)的要求也越來越高。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高,目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ·cm、15 MΩ·cm、10 MΩ·cm、2 MΩ·cm、0.5 MΩ·cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
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2、電子工業(yè)用超純水的制備工藝流程
電子工業(yè)用超純水制備的工藝流程有下列幾種:
(1)原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-軟水器-精密過濾器-陽(yáng)床-陰床-混合床-純水箱-純水泵-后置精密過濾器-用水點(diǎn)
(2)原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器――軟水器-原水箱-一級(jí)反滲透-中間水箱-二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-后置精密過濾器-用水點(diǎn)
(3)原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-軟水器-原水箱-反滲透設(shè)備-中間水箱-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-后置精密過濾器-用水點(diǎn)
(4)原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-軟水器-原水箱-反滲透設(shè)備-中間水箱-EDI裝置-純水箱-純水泵-精制混床-精密過濾器-用水點(diǎn)
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