沈陽科晶 GSL-1100X-PJF-A型 等離子表面處理儀
儀器概述:
GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統,主要由射頻發生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環境下,迅速活化和清理材料(如單晶片、光學元件、塑料等)表面雜質。本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層,預*行表面處理的可靠選擇。
主要技術參數:
產品型號 | GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀 |
主要特點 | 1、高速處理物件表面,操作簡單、安全。 2、無需真空和腔室環境。 3、小巧實用、成本低。 4、重量輕、結構緊湊。 5、已通過CE認證。 |
技術參數 | 1、電源:110/220V 50Hz/60Hz <100W 2、輸出頻率:20KHz-23KHz 3、離子束頭:圓頭10mm-12mm,矩形頭15mm-18mm 4、輸入氣壓:最小0.275MPa 5、工作氣氛:空氣、氮氣、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa 7、工作環境:溫度<42℃,濕度≤40%RH 8、工作臺:自動控制三維工作臺,X、Y軸電動調節,Z軸手動調節 9、真空吸盤:?100mm 10、X軸行程:200mm 11、Y軸行程:100mm 12、Z軸行程:50mm |
產品規格 | 1、尺寸:600mm×600mm×1250mm 2、重量:55kg |