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英福康Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng),高壓強(qiáng)型四極質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號(hào)Transpector XPR3

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

聯(lián)系方式:王建峰,趙彬山查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-05-25 08:55:23瀏覽次數(shù):103次

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商鋪產(chǎn)品:120條

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聯(lián)系人:王建峰,趙彬山

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級(jí)別、除氣級(jí)別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測(cè)和診斷問題,從而*大化吞吐量和產(chǎn)量,也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃,從而延長(zhǎng)工具運(yùn)行時(shí)間。

詳細(xì)介紹

Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng)

 

無需復(fù)雜壓力轉(zhuǎn)換的 PVD 過程監(jiān)控


Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級(jí)別、除氣級(jí)別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測(cè)和診斷問題,從而*大化吞吐量和產(chǎn)量,也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃,從而延長(zhǎng)工具運(yùn)行時(shí)間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng),可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗(yàn),具有****的靈敏度、準(zhǔn)確性和靈活性,可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破,無需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備,即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。



功能

  • 經(jīng)過重新設(shè)計(jì)的離子源*大限度減少污染積存,可延長(zhǎng)使用壽命,提供更純凈的信號(hào)。
  • 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作,可實(shí)現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集,消除 FC 向 EM 過度的必要,更便于數(shù)據(jù)分析。
  • 更長(zhǎng)的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能,增強(qiáng)了豐度靈敏度,從而提高了氫氣檢測(cè)靈敏度。

典型應(yīng)用

  • PVD 過程模塊
  • 預(yù)清洗模塊
  • 非群集 PVD 工具
  • 夾鉗式除氣模塊



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