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更新時間:2022-12-13 13:43:32瀏覽次數(shù):539次
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羅茨真空泵是一種容積式真空泵,一對8字型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)以相反的方向同步旋轉(zhuǎn)而完成吸氣排氣的。在工作過程中,轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子與泵體之間始終保持一定的間隙,轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間的間隙由一對同步齒輪調(diào)節(jié),轉(zhuǎn)子與端面間隙靠固定端的軸承調(diào)節(jié),另一軸承自由游動。 羅茨真空泵的特點(diǎn)是在較低的入口壓力下具有較大的抽氣速率,但其排氣口與進(jìn)氣口的壓力差卻不能太大(大泵壓差約4000Pa,小泵壓差約5000Pa),所以不能單獨(dú)使用,需配置前級泵進(jìn)行預(yù)抽,當(dāng)入口壓力達(dá)到一定數(shù)值時(-0.092MPa以上)方能啟動。 羅茨真空泵抽氣腔內(nèi)無任何輔助液體,對工藝氣體不產(chǎn)生污染。真空泵抽氣腔兩端的軸承及齒輪需要油潤滑,但油腔與抽氣腔間有軸封隔開。 氣體在羅茨真空泵內(nèi)雖然不產(chǎn)生內(nèi)壓縮,但在排氣時會發(fā)生外壓縮,壓縮熱會使轉(zhuǎn)子、泵體及真空油溫度升高,所以除個別小抽氣量羅茨泵無水冷外,均在油腔內(nèi)加有水冷裝置
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