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日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3質(zhì)量流量控制器

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日本HORIBASTECE40MK3/E50MK3流量控制器日本HORIBASTECE40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器
日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。
日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器特征
1.具有廣泛的用途
2.追求成本優(yōu)勢(shì)、實(shí)現(xiàn)成本降低

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器規(guī)格

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號(hào)		非通電時(shí) 關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2〜99% F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0〜99% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5〜50℃(精度的確保：15〜35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.1〜5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2〜99% F.S.
流量輸出信號(hào)		0〜5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		1/4SWL 類型