日本HORIBA SEC-Z500X系列多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2024-03-18 14:02:37瀏覽次數(shù)：96次

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上海首榮工業(yè)設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

日本HORIBA SEC-Z500X系列多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

型號:

SEC-Z512KX SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z532MGXN SEC-Z542MGXN SEC-Z552MGX SEC-Z562MGX

SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z514MGXN SEC-Z534MGXN SEC-Z544MGXN

SEC-Z554KX SEC-Z564KX

SEC-Z517KX SEC-Z517MGX SEC-Z527MGXN

SEC-Z537MGXN SEC-Z547MGXN SEC-Z557MGX SEC-Z567MGX

品　　牌：HORIBA STEC
產(chǎn)品型號：SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原產(chǎn) 國：國外日本
詳細說明：SEC-Z500X系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、流量計

質(zhì)量流量控制器是半導體生產(chǎn)設備上的關鍵部件。它的質(zhì)量和性能是影響半導體制程優(yōu)劣的主要因素。HORIBA STEC作為一家長期以來，為半導體持續(xù)不斷的提供高質(zhì)量、高性能的元器件供應商，已將擴展到50%以上。

特征

高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補償。此功能實現(xiàn)量程上的高精度。為了真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標準氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)氣體精度確認。
高速響應
裝載“變量PID系統(tǒng)"可實現(xiàn)兩設定點之間1秒內(nèi)快速響應。變量PID基于流量設定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單更改MFC的規(guī)格。MFC的規(guī)格改變不需從設備端拆卸。此舉減少MFC庫存需求，減少時間和成本的浪費。

制造: HORIBA STEC

產(chǎn)品相關尺寸及其他 undefined