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日本HORIBA LV-F60P0數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2024-03-18 14:06:07瀏覽次數(shù)：132次

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產(chǎn)品簡介

日本HORIBALV-F系列LV-F60P0數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器概要采用了冷卻檢測方式的流量傳感器特征通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度/高速響應(yīng)

詳細介紹

日本HORIBA LV-F系列 LV-F60P0數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器

概要

采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度/高速響應(yīng)。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類型

制造: HORIBA STEC

名稱

質(zhì)量流量計

型號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5-99% F.S.
對象液體種類 *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
重復性 *3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以內(nèi) (T98)		2秒以內(nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4	5-50℃ (15 -45℃精度的確保)
溫度影響 Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值值 *5	值. 5MPa (視為流量計) / 50-300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓	10MPa (視為流量計)
壓力損失	值. 500Pa
流量設(shè)定信號	模擬：0.25-5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0-5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質(zhì)	SUS316L, Ni
標準接頭	1/16" ， 1/8" SWL類型， 1/8" VCR 類型			1/8" SWL類型， 1/8" VCR 類型	1/4" SWL類型 1/4" VCR 類型

名稱

質(zhì)量流量控制器

型號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5 -99% F.S.
對象液體種類 *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線性 *3	±0.5% F.S.
重復性 *3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以內(nèi) (T98)		2秒以內(nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4	5-50℃ (15 ?-45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值 *5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設(shè)定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa•m3/s (He)
接液部材質(zhì)	PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類型： SUS316L，Ni
標準接頭	1/16" ， 1/8" SWL類型， 1/8" VCR 類型			1/8" SWL類型， 1/8" VCR 類型	1/4" SWL類型 1/4" VCR 類型

*1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預(yù)先所使用的液體。)
不能檢測含有固體物的液體。
如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)行咨詢協(xié)商。
LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到值， 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)行咨詢協(xié)商。
*3：以SEMI E56-1296 為準。
*4：進行測量控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa/s中的F.S.流量值。

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