“MetOne 255標準粒子發生裝置

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產品簡介

產品說明氣體塵埃粒子計數器的校正程序校正所需設備：100級潔凈房或潔凈臺一臺用于作對比

詳細介紹

產品說明

氣體塵埃粒子計數器的校正程序

校正所需設備：

100 級潔凈房或潔凈臺

一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器，如 Metone3400

各粒徑的標準粒子，如 0.3um  0.5um  1um 等等

標準粒子氣體產生器，如 Model 255

可產生脫離水（ DI 水）的純水系統或類似裝置

  其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等

校正的基本原理

標準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。

三 . 校正的基本步驟：

現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正

首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預熱半小時。

  準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

將配好的標準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

  設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數

取樣時間都設置為 00 ： 01 ： 00

取樣次數都設置 03

取樣模式都設置為 Auto

間隔時間都設置為 00 ： 00 ： 05

讀數模式都設置為 Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。

此時，打開 255 電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態。

此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結果，若在 20% 以內，視為合格。

拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
  以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。