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深圳市億萊斯儀器有限公司
一、說明壓力測量的目的是確認無塵室空調系統的壓力設定
| 一、說明 壓力測量的目的是確認無塵室空調系統的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔凈度,這已經是個 common sense ,在 209 的舊版本中,正壓有建議值,但是后來就取消了。目前常見的正壓值約是 10 到 25 Pascal 之間。壓力測量的時機,應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之后立即測量,尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。因為如果壓力不對,要立刻調整以免影響潔凈度。測量時,所有門窗都必須關上,所有的風扇也必須維持正常運轉。 二、測試儀器 壓力測量可使用傾斜管壓力計,指針式壓力計,或是電子式壓力計,總之只要測量范圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的 ±5% ,測量范圍式壓力設計值而定,一般 0~5mm Aq ( 0–50 Pascal )即可涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用,檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試步驟 1. 必須在風速、風量、氣流等測試完成后,才能測試壓力,并且排氣與 MAU 要正常運轉。 2. 全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為 0.0mmAq 表壓力。 3. 測定潔凈區域與相鄰較次級潔凈區域之壓差,再測量房間與 Gowning room 之間壓差,最后測量 Gowning room 與外部之壓差。 4. 建議壓差值為 5~12Pa ,并無強制規定。 5. 記錄所有數值。 |
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