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“高效過(guò)濾器檢漏

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一、說(shuō)明過(guò)濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵室測(cè)試中,最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目

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一、說(shuō)明
      過(guò)濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵室測(cè)試中,最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目。泄漏測(cè)試的目的,是要確認(rèn): 1. 濾網(wǎng)的材料無(wú)破損, 2. 安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過(guò)泄漏測(cè)試,但是在搬運(yùn)與安裝過(guò)程難保無(wú)損,而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認(rèn)濾材無(wú)任何泄漏。另外,若是安裝不恰當(dāng),微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng),天花板上是負(fù)壓,若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。因此,邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒,然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式,適用在不同的場(chǎng)合。測(cè)試方式有: 1. 氣膠光度計(jì)測(cè)試法, 2. 微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法, 3. 全效率測(cè)試法, 4. 外氣測(cè)試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。
二、方法
     1. 氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法
      氣膠光度計(jì)測(cè)試法是期的測(cè)試方式,但是因?yàn)樾Ч浅:茫浇裉烊耘f沿用。氣膠光度計(jì)( Aerosol Photometer )是微粒計(jì)數(shù)器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強(qiáng)度,不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì),現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后,可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒,可用來(lái)模擬無(wú)塵室的微粒,因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
     2. 微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法
      半導(dǎo)體業(yè)方面,早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計(jì),但是隨著制造精密度增加,油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用,因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒,在上游施放,然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描,尋找泄漏,基本概念相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結(jié)果,發(fā)現(xiàn) PSL 因?yàn)槲⒘5牧脚c濃度可以控制,因此是目前為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把 PSL 溶液霧化,導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可


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