概述Edwards 有源倒磁控管真空計 (AIM) 在一個緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合，均已證明這些真空計堅固。此真空計具有線性輸出，易于與計算機或 PLC 結(jié)合使用。RoHS66應(yīng)用適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的需要穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等應(yīng)用。

詳細介紹

概述

Edwards 有源倒磁控管真空計 (AIM) 在一個緊湊的有源裝置中包含規(guī)頭和控制器。從科學(xué)儀器到工業(yè)制程的多種應(yīng)用場合，均已證明這些真空計堅固。

此真空計具有線性輸出，易于與計算機或 PLC 結(jié)合使用。

應(yīng)用

適用于處于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范圍內(nèi)的需要穩(wěn)定的壓力指示的真空應(yīng)用。典型制程包括從一般真空到工業(yè)鍍膜機和熔爐再到科學(xué)儀器和半導(dǎo)體等應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

驅(qū)動電子模塊與規(guī)頭合并在一起，降低了系統(tǒng)成本并節(jié)省了寶貴的機架空間
低輸出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供別的抗擾性，并允許使用長電纜（長可達 100 m）
低磁場型 XL 適用于性應(yīng)用，例如質(zhì)譜分析和電子顯微鏡。
可更換的管體允許快速更換管件而無需預(yù)校準
已獲 CSA C/US 批準
范圍、符合標準的內(nèi)部電源可使用 +13.5 到 +36 V 的標準直流電，對電壓波動有很好的承受力
0 到 +10 V 直流電壓的標準模擬輸出和真空計標識符允許輕松連接計算機或 PLC 和進行故障輸出指示
電極維修套件允許用戶進行清潔和維護
的放電器設(shè)計即使在高真空或污染環(huán)境下也可以快速放電
壓力范圍更大

數(shù)據(jù)

壓力范圍
AIM-X	10-2 至 10-9 mbar
準確度	通常為 ±30%
大過壓	10 bar (145 psi)
電源供給	+13.5 至 +36 V 直流（大 1 V 波動）
功耗	2 W（大）
輸出信號	2 至 10 V 直流
設(shè)定點	開路集電極晶體管
大電壓	40 V 直流
電流	100 mA（大）
溫度范圍
工作	+5 至 +60°C
存儲	0 至 +70 °C
暴露于真空中的材料
NW25 型	不銹鋼 304/306/347、氟橡膠、玻璃
內(nèi)部體積	26 cm3
重量	0.81 kg
外部接口連接器	8 路 FCC68/RJ45 插座
真空接頭	NW25
標準
電磁兼容性	EN 61326
	（B 類排放）
外殼等級	IP40

準確度在測量范圍極限處會降低

關(guān)鍵詞：真空計控制器 PLC 連接器

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