緊湊型有源離子真空計(jì)配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測(cè)量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的 AIGX 真空計(jì)具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測(cè)量概念的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)脫氣裝置，而且具備保護(hù)和延長燈絲使用壽命的功能。

詳細(xì)介紹

概述

功能和優(yōu)勢(shì)

的 8 decade 測(cè)量功能，可達(dá) 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
有兩種款型可用，每一種又有三種真空聯(lián)軸器變型：

“D"型具有 9 針“D"接頭盒標(biāo)準(zhǔn)接口；
“S"型具有增強(qiáng)的功能，與 Edwards 的控制器兼容。

與主要競爭對(duì)手相比，帶電粒子制程污染減少了 30%。
自動(dòng)防止在大氣條件下啟動(dòng)燈絲以及在高壓下運(yùn)行或脫氣。
在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)真空計(jì)靈敏度始終保持穩(wěn)定，從而可以在更高壓力下保持輸出精度。
在脫氣過程中可以連續(xù)進(jìn)行壓力測(cè)量輸出。
性設(shè)計(jì)消除了 X 射線限制的影響。
雙色 LED 提供真空計(jì)狀態(tài)的本地指示。
輸入電壓范圍寬。
電子器件極易拆卸以進(jìn)行高達(dá) 200 °C 的加熱。
“S"型提供有無縫的自動(dòng)發(fā)射電流切換，延長了燈絲壽命。
“S"型提供有診斷輸出，指示“發(fā)射關(guān)閉"、“燈絲燒壞"和“過壓跳閘"，以幫助進(jìn)行故障排除。
“S"型提供有一個(gè)可以用按鈕調(diào)整的設(shè)定點(diǎn)。

數(shù)據(jù)

壓力范圍	6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar
	（5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr）
電源供給	+14.5 至 +30.0 V 直流
功耗	正常工作：7W（大），
	脫氣：14W（大）
輸出信號(hào)	線性，1 V / decade
響應(yīng)時(shí)間	1.33 x 10-8 mbar
	(>10-8 Torr) ? 100 ms
	1.33 x 10-8 mbar
	(<10-8 Torr) ? 1-2 s
大電壓	30 V（直流）
大電流	100 mA（大）
工作環(huán)境	干燥的非導(dǎo)電性大氣
溫度范圍
工作溫度	0 至 +40 °C
存儲(chǔ)溫度	-30 至 +70 °C