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上海赫哲真空設(shè)備有限公司


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WRG-D-NW25 WRG 有源寬量程真空計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)D14702000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2024-11-08 21:06:11瀏覽次數(shù)：46次

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聯(lián)系人：解星星

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測(cè)量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對(duì)很多應(yīng)用來(lái)說(shuō)是重要的優(yōu)勢(shì)。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和的診斷功能。WRG 是高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

詳細(xì)介紹

概述

寬量程真空計(jì) (WRG) 系列在從大氣壓到 10-9 mbar 的壓力下提供單接口壓力測(cè)量結(jié)果，并且提供線性輸出。它是緊湊型的解決方案，所需空間和連接硬件均減少了一半，這對(duì)很多應(yīng)用來(lái)說(shuō)是重要的優(yōu)勢(shì)。WRG 具有很多新穎的特點(diǎn)，包括新的放電器、按鈕校準(zhǔn)、設(shè)定點(diǎn)控制和的診斷功能。WRG 是高效的真空管理解決方案，可以與 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系統(tǒng)控制中。

應(yīng)用

  • 任何需要在很寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力的真空系統(tǒng)。具有 AGD 的 WRG 代表一種用于實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的簡(jiǎn)單和極為高效的手段。
     
  • 對(duì)于可能要將真空計(jì)直接集成到制程控制器中的工業(yè) OEM 而言，線性輸出和平衡使 WRG 成為一種富有吸引力的選擇。
  • WRG 適合在多種 HV 和 UHV 應(yīng)用中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之間花費(fèi)的時(shí)間多，Edwards 建議采用獨(dú)立的 APG100 皮拉尼真空計(jì)和 AIM 潘寧真空計(jì)，因?yàn)檫@樣將提高真空計(jì)在應(yīng)用中的性。

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 微處理器信號(hào)處理允許在皮拉尼和磁控管輸出以及線性輸出之間無(wú)縫轉(zhuǎn)換（記錄壓力刻度）
  • 自動(dòng)為皮拉尼真空計(jì)元件進(jìn)行真空設(shè)置
  • 單一按鈕大氣設(shè)置
  • 可輕松編程的設(shè)定點(diǎn)涵蓋整個(gè)測(cè)量范圍
  • 磁控管使用的進(jìn)行高度的放電，即使在高真空或相對(duì)污染的環(huán)境下也無(wú)妨
  • 通過(guò)降低點(diǎn)火后的 HT 電壓以及采用低放電電流，延長(zhǎng)了維修間隔和真空計(jì)壽命
  • 結(jié)構(gòu)極為緊湊，采用凹進(jìn)式電氣接頭
  • 易于維修；皮拉尼和磁控管元件均可以單獨(dú)更換
  • 綜合性故障模式診斷裝置
  • D 型包括電纜應(yīng)變消除和增強(qiáng)的灰塵防護(hù) (IP44)

數(shù)據(jù)

壓力范圍 大氣壓至 10-9 mbar/Torr
準(zhǔn)確度 通常為 ±15% <100 mbar 以及 ±30%<10-3 mbar
大過(guò)壓 6 bar (87 psia)
電源供給 +14.5 至 +36 V 直流
功耗 2 W（大）
輸出信號(hào) 1.8 至 10.2 V 直流
調(diào)節(jié) 大氣壓和設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn) 開(kāi)路集電極晶體管
大電壓 40 V 直流
電流 100 mA 大
溫度范圍
工作 +5 至 +60 oC
存儲(chǔ) 0 至 +70 oC
暴露于真空中的材料（NW 和 CF 型） 不銹鋼（AISI 304、316、321、347）、氟橡膠、鈉鈣玻璃、鎢、微量鎳和鎳鐵
內(nèi)部體積 26 cm3
重量 0.8 kg
外部接口連接器 8 路 FCC68/RJ45 插座
接口電纜 有源真空計(jì)電纜的使用范圍
標(biāo)準(zhǔn)
電磁兼容性 EN 61326 工業(yè)地點(diǎn)，B 類排放
機(jī)箱等級(jí) IP40
針腳分配
1.電源供給正極 5.信號(hào)共用
2.電源供給共用 6.設(shè)定點(diǎn)輸出
3.壓力表輸出 7.大氣壓校準(zhǔn)
4.壓力表標(biāo)識(shí) 8.未連接

準(zhǔn)確度在測(cè)量范圍極限處會(huì)降低。
圖中未顯示


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