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行業(yè)產(chǎn)品

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諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司


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日立 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間：2023-07-20 11:01:02瀏覽次數(shù)：179次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：26條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹 現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹：


       現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


       "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。


       通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


       此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。


       Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。


*1   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品特點(diǎn)：


  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2


*2   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品規(guī)格：


項(xiàng)目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
（加速電壓15 kV）		0.6 nm（加速電壓 15 kV）
0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
0.8 nm
（著陸電壓1 kV）*3
著陸電壓0.1～2 kV0.01～20 kV
放大倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4

樣

品

臺(tái)

樣品臺(tái)控制3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

移

動(dòng)

范

圍

X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
R360°
T-5～70°
Z1.5～30 mm1.5～40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3      減速模式下觀察


*4      以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率


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