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上海德竹芯源科技有限公司
CT8201 激光器芯片雙溫測試系統是針對半導體 DFB 或 EML 激光器在常溫、高溫兩個不同溫度下進行的光電特性 LIV 掃描測試、EA 掃描測試、光譜掃描測試。系統主要由晶圓供給區、芯片搬運區、芯片位置校正區、芯片 OCR 提取區、芯片測試區、芯片收納區共六部分組成。系統集成了①從晶圓環上料→②運輸→③DUT ID掃描→④高/低溫測試→⑤下料→⑥分揀歸類。 CT8201 支持激光器前向/后向光電測試。
● 高度集成全自動化解決方案,覆蓋非常復雜的測試
● 支持測試溫度范圍 25-95 度
● 測量完成 DUT 可自動分類
激光二極管芯片測試參數
LIV測量參數
● Ith閾值電流 < 1%
● SE斜效率 < 2%
● Iop工作電流
● Vop工作電壓
● Pop工作功率
● Pbop背向工作功率
● Vf正向工作電壓
● Pf前向功率
● Pb背向功率
● Rs等效電阻
● PfKink功率Kink
● PfIkink電流Kink
● PfLineary前向功率線性度
● PbKink前向功率Kink
● PbIkink背向功率Kink
● PbLineary背向功率線性度
● Iroll滾降電流點
光譜測量參數
● ?c中心波長 <20pm@可調激光器/<0.1nm@其它激光器
● ?p峰值波長 <20pm@可調激光器/<0.1nm@其它激光器
● SMSR邊模抑制比 <3dB
● SMSR邊摸抑制比 <2dB
● P?p峰值功率
● ?2pL左邊第二峰值波長
● P?2pL左邊第二峰值功率
● ?2pR右邊第二峰值波長
● PΛ2pR右邊第二峰值功率
● DeltaPLR左右峰值功率差值
● FWHM3dB 帶寬
● 20dB Bandwidth20dB 帶寬
EA測量
● IdarkEA暗電流
● EREA 直流小光比 <+/-0.2dB
● LVI Curve功率& EA電流曲線 vs EA偏置電壓
近場遠場
● Near Field Beam waist近場束腰
● Near field angle @ X axisX 軸近場發散角
● Near field angle @ Y axisY 軸近場發散角
● Near M^2M 平方因子
● Far field angle @ Y axisX 軸遠場發散角
● Far field angle @ X axisY 軸遠場發散角
激光二極管芯片測試系統指標
系統特性
● DUT 類型:Die or CoC/CoS
● 芯片ID識別成功率:99%
● 分類功能:支持 4-6 晶圓盤,軟件配置分類計劃
● 光測試能力:同時支持前向/背向光測試
● 溫區數量:2溫區測試座
● NG DUT 容器:支持
● ESD保護:所有和 DUT 相關的材料都是 ESD 防護的,良好接地
● 周期時間:<8s 完成所有流程測試,包括:上料/運輸/下料/分類/LIV測試/光譜測試
溫度控制
● 溫度控制方法:TEC 和加熱板
● 溫度控制范圍:0°C 到 100°C
● 溫度控制分辨率:± 0.1°C
● 溫度控制精度:± 1°C
● 溫度控制穩定度:± 0.5°C
● 溫度防護能力:硬件防護@ >150°C
激光器控制
● 激光器驅動類型:每個芯片獨立驅動
● 驅動電流極性:雙極性
● 驅動電流范圍:3A CW 和脈沖 10A
● 脈沖工作模式:支持 50us 脈沖到 CW,占空比 0-99%
● 驅動電流回讀:包含
● 驅動電流分辨率:0.05% @滿量程
● 驅動電流精度:± 0.05% @滿量程
● 驅動電流穩定度:± 0.03% @滿量程
● 驅動一致性電壓:0-+/-60V 可配置
● 電壓測量范圍:+/-60V
● 電壓測量精度:± 10mV
● 電壓測量分辨率:0.03%
● 驅動電壓范圍:<0%
● 驅動電壓精度:<0%
● 驅動電壓分辨率:<0%
● 標稱工作電過沖:<0%
● 異常工作電過沖:±3.3V
● 標稱工作電下沖:±5V
● 異常工作電下沖:±50mV
● 時間探測:功率丟失、網絡丟失、短路、開路和過溫
光學測量
● 光功率測量能力:同時支持前向/背向測試
● 光功率測量范圍:0-30 mW
● 光功率波長范圍:900-1700 nm
● 光譜范圍:700-1650 nm
● 光波長精度:50 pm
● 光波長分辨率:50 pm
機構參數
● DUT上料能力:6 英寸晶圓盤;X/Y/角度可調;XY 移動距離 80 mm
● DUT 位置精度:XY 位置精度 ≤10μm;重復性 ≤±1μm;旋轉位置精度 ≤0.1° 旋轉重復性 ≤0.1°
● DUT 撿起精度:移動范圍 4 mm;重復性 ≤2μm
● DUT 探針精度:移動范圍 3 mm;重復性 ≤2μm
● DUT 傳輸機構:均采用高精度步進電機帶動,同步帶傳動,高精度滑軌導向實現
通用參數
● 尺寸:1250×1000×1800 mm(L×W×H)
● 輸入氣體壓力:0.4-0.6 Mpa
● 輸入交流電源:200-240 V, 50-60 Hz
● 計算機型號:Advantech
● 操作系統:Microsoft Windows 7
● 軟件平臺:Microsoft .Net
● 軟件語言:C#
● 數據庫:SQL
● 器件連接測試工具:集成
● 測試計劃配置工具:集成
● 測試數據查詢工具:集成
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