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行業(yè)產(chǎn)品

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Stress Mapper 晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)品型號(hào)Stress Mapper

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2023-09-13 09:23:16瀏覽次數(shù)：302次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：157條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Stress Mapper 晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)x具備三維翹曲（平整度）、薄膜應(yīng)力、納米輪廓、宏觀缺陷成像等檢測(cè)功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

● 對(duì)各種晶圓的表面進(jìn)行一次性非接觸全口徑均勻采樣測(cè)量

● 簡(jiǎn)單、精確、快速、可重復(fù)的測(cè)量方式，多功能

● 強(qiáng)大的附加模塊：晶圓加熱循環(huán)模塊（ 500 度）；表面粗糙度測(cè)量模塊；粗糙表面晶圓平整度測(cè)量模塊


適用對(duì)象

2寸 - 8寸 / 12寸拋光晶圓（硅、砷化鎵、碳化硅等）、圖形化晶圓、鍵合晶圓、封裝晶圓等；液晶基板玻璃；各類薄膜工藝處理的表面。


適用領(lǐng)域

● 半導(dǎo)體及玻璃晶圓的生產(chǎn)和質(zhì)量檢查

● 半導(dǎo)體薄膜工藝的研究與開發(fā)

● 半導(dǎo)體制程和封裝減薄工藝的過程控制和故障分析


檢測(cè)原理

● 晶圓制程中會(huì)在晶圓表面反復(fù)沉積薄膜，基板與薄膜材料特性的差異導(dǎo)致晶圓翹曲，翹曲和薄膜應(yīng)力會(huì)對(duì)工藝良率產(chǎn)生重要影響

● 采用結(jié)構(gòu)光反射成像方法測(cè)量晶圓的三維翹曲分布，通過翹曲曲率半徑測(cè)量來(lái)推算薄膜應(yīng)力分布，具有非接觸、免機(jī)械掃描和高采樣率特點(diǎn)，12 英寸晶圓全口徑測(cè)量時(shí)間低于 30s

● 通過 Stoney 公式及相關(guān)模型計(jì)算晶圓應(yīng)力分布


實(shí)測(cè)案例




測(cè)量分析軟件

三維測(cè)量分析軟件易用性強(qiáng)，具有豐富分析功能，包括：三維翹曲圖、晶圓翹曲參數(shù)統(tǒng)計(jì)（BOW，WARP，GFIR，SFLR等）、薄膜應(yīng)力及分布、模擬加熱循環(huán)、曲率、多項(xiàng)式擬合、空間濾波和數(shù)據(jù)導(dǎo)出等。


Stress Mapper技術(shù)規(guī)格




瑞霏光電晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)x將全口徑翹曲、應(yīng)力、表面瑕疵等分析整合進(jìn)入每一次測(cè)量，確保客戶能快速確認(rèn)工藝。


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