等離子體光譜儀器Crookesl，針對半導(dǎo)體等離子體工藝設(shè)備開發(fā)，兼具原位監(jiān)控和譜線分析功能，解決等離子體工藝穩(wěn)定度監(jiān)控，等離子體工藝過程監(jiān)控，等離子體工藝實(shí)時反饋控制，適用于等離子體工藝相關(guān)的工藝研發(fā)和產(chǎn)線監(jiān)控。

詳細(xì)介紹

設(shè)備原理

通過搜集原子發(fā)射光譜并分析特征波段/波長的譜線實(shí)現(xiàn)對等離子體的監(jiān)控和反饋控制。

設(shè)備構(gòu)成

● 等離子體發(fā)光光譜儀

高性能光譜儀，覆蓋紫外到紅外波段，精度/靈敏度根據(jù)工藝需求選擇，可檢測絕大部分微加工制備工藝涉及的元素。

● 等離子體監(jiān)控&分析軟件

針對反饋控制，終點(diǎn)檢測，穩(wěn)定性監(jiān)控等多種工藝需求定制，可實(shí)時顯示光譜變化三維圖，優(yōu)化積分算法處理判定。根據(jù)用戶自定義添加的光譜數(shù)據(jù)庫。

● 光學(xué)系統(tǒng)集成

可定制化系統(tǒng)集成，真空外檢測和真空內(nèi)檢測多種集成方式，防鍍膜設(shè)計(jì)光學(xué)探頭。

主要功能和特色

● 實(shí)時等離子體光譜采集，全數(shù)據(jù)時域&頻域光譜分析

● 自動譜圖尋峰及原子譜線數(shù)據(jù)庫匹配

● 等離子體光譜單一峰位&連續(xù)波段積分強(qiáng)度監(jiān)視

● Recipe編譯/執(zhí)行操作模式

主要應(yīng)用

● 等離子體刻蝕終點(diǎn)檢測（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）

● 等離子體穩(wěn)定度均勻度檢測（大面積離子源，腔內(nèi)等離子體分布）

● 等離子體反應(yīng)氣體組分控制（反應(yīng)濺射沉積，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）

	高精度等離子體光譜檢測儀	高信噪比離子體光譜監(jiān)測儀	多通道等離子體光譜監(jiān)測儀
主機(jī)型號	CrookesI	CrookesI-Pro	CrookesI-Trident
通道數(shù)量	1	1	3
光譜波長范圍	200 ~ 1100 nm	220 ~ 980 nm	200 ~ 1100 nm
光譜分辨率	1.3 nm	1.8 nm	1.3 nm / 1.8 nm
波長精度	0.12 nm	0.2 nm	0.12 nm/ 0.2 nm
信噪比	500 : 1	1000 : 1	500 : 1 / 1000 : 1
I/O接口	2 路模擬輸出、4 路模擬輸入、8 路數(shù)字輸入輸出
計(jì)算機(jī)通信接口	GPIB / RS232 / USB
尺寸	195 × 275 × 90 mm³
重量	2.5 kg	2.5 kg	3.5 kg
用電	單相 220 V, 5 A

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