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行業(yè)產(chǎn)品

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Inducer-5560 Si/SiC激光隱形切割設(shè)備

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Inducer-5560

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2023-09-13 10:10:28瀏覽次數(shù)：220次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：157條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本設(shè)備是利用超短脈沖激光實(shí)現(xiàn)碳化硅晶圓高質(zhì)量、高效率的切割加工。

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)

● 切割速度快，切割效果好，良率高

● 提供整套的裂片&擴(kuò)片設(shè)備，完整的解決方案

● 工藝成熟，可針對(duì)不同類(lèi)型的碳化硅晶圓進(jìn)行切割


性能指標(biāo)

● 加工對(duì)象：碳化硅晶圓

● 激光種類(lèi)：紅外皮秒脈沖激光器

● 激光功率：≥ 4W

● 冷卻方式：風(fēng)冷

● X軸：行程 450mm，解析度 0.1um

● Y軸：行程 700mm，解析度 0.1um

● Z軸：行程 20mm，解析度 0.1um

● θ軸：行程 120°，解析度 0.001°

● 切割厚度：1mm

● 切割軸速度值：500mm/s

● 加工尺寸：6 寸（可升級(jí)至 8 寸）


應(yīng)用材料和領(lǐng)域

● 應(yīng)用于航天航空、電力電子等行業(yè)微波器件，功率器件的晶圓片的切割（以碳化硅材料為基板的晶圓）


加工效果示例圖


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