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行業(yè)產(chǎn)品

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上海德竹芯源科技有限公司


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ASTRO PACT-10H 等離子去膠機(jī)

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號ASTRO PACT-10H

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2023-09-13 10:11:47瀏覽次數(shù):148次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:157條

所在地區(qū):上海上海

產(chǎn)品簡介

主要應(yīng)用晶圓顯影后的底膠去除或者干法蝕刻工藝后變性的光刻膠去除,光刻膠的去除及對樣片是否有損傷,將影響到后續(xù)工藝和器件的性能。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域:高劑量離子注入光刻膠的去除,濕法或干法刻蝕前后殘膠去除,MEMS 中犧牲層的去除,去除化學(xué)殘余物,去浮渣工藝,SU-8 光刻膠去除等

優(yōu)勢:去膠速度快,對產(chǎn)品損傷小,設(shè)計緊湊,操作簡單

工藝腔室:鋁材質(zhì),尺寸 350(W)×350(D)×170(H)mm

樣品尺寸:12 寸,向下兼容

腔門:抽屜式帶加熱臺盤 60 - 200℃(選配 250℃ 加熱臺盤),帶觀察窗

微波源:2.45GHz, 1200W

氣路:標(biāo)配兩路工藝氣體,帶質(zhì)量流量計(可升級至 4 路)

真空規(guī):Pirani,PCR280 Standard

真空泵:干泵或油泵可選

控制系統(tǒng):10.4 寸觸摸屏,Windows系統(tǒng),圖形化操作界面

電力需求:3 / N / PE AC 50Hz 400 / 240V 16A

整機(jī)尺寸:560(W)×770(D)×770(H)mm


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