VF-3000 自動立式爐管

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產品型號VF-3000

品牌

廠商性質其他

所在地上海

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更新時間：2023-09-13 10:22:50瀏覽次數：186次

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上海德竹芯源科技有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：157條

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產品簡介

這款配有自動輸送機的低成本立式爐管可用于從研發到批量生產 4 至 8 英寸晶圓的一系列功能。提供超高溫處理，非常適合功率器件制造。

詳細介紹

概述

該立式爐管可用于 4 英寸到 8 英寸的各種晶圓大小，并可選擇小批量處理 50 至 75 片一體式。該立式爐管通過精心選擇硬件和控制系統組件來實現低價，可用于從研發到批量生產線等眾多功能。從 LGO 加熱器、二硅化鉬 (MoSi₂) 加熱器和碳加熱器中選擇使用一款合適的加熱器，不僅可用于低溫退火、氮化物 (Si₃N₄)、多晶硅和其他材料 LPCVD、氧化和擴散處理，還可用于 SiC 功率器件柵硅氧氮化、活化退火和其他超高溫處理工藝。

特性

● 面向后端用戶的低成本設備

● 小批量、50 至 75 片一體式處理可用于研發及批量生產線

● 提供 4 至 8 英寸晶圓尺寸

● 最多 4 個晶盒儲料器

● 使用 LGO 加熱器，從低溫到中高溫都能實現出色的溫度控制

● 使用單片式機械手臂實現晶圓高速傳送

● 配備功能有限的簡單控制系統

規格

外部尺寸：W1200 × D1450 × H2610 mm

加熱器：LGO加熱器

均熱區長度：至 360 mm