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上海德竹芯源科技有限公司
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對曝光后的光刻膠進行顯影是很關鍵的一步，因此需要謹慎選擇顯影工藝和顯影劑。半自動顯影機 SMD-200 可保證即使再厚的膠層均可實現高超的顯影工藝效果，低化藥消耗及可靠的重復性。SMD 系統可以用于清洗、顯影和刻蝕。
產品功能
● 閉合工藝腔體起到安全保護作用，材質 PP(SMD) 或不銹鋼 (SMD-E)
● 腔體能容納片子尺寸 200 mm
● 轉速 3000 轉，誤差 +/-1 （依賴于基板尺寸和重量）
● 電驅動噴灑手臂，可靜態或動態顯影包含顯影管路和溶劑罐
● 手臂上有去離子水清洗和氮氣吹干機械式固定基板
選配功能
● 額外的顯影管路（最多 4 路）
● 兩個顯影手臂
● 可加熱顯影罐（2 升）
● 不同大小材質的噴嘴（PEEK，不銹鋼，0.3/0.5/0.8 mm）
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