探針式表面輪廓儀（臺階儀）

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更新時間：2024-07-28 08:12:19瀏覽次數：191次

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上海千昌工業設備有限公司

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產品簡介

臺階儀

詳細介紹

DektakXT

在各個領域完成重要數據的采集處理

薄膜監測 — 高效率的保證

對于半導體制造行業而言，及時監測鍍膜膜厚和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應力，能節省寶貴的時間和金錢。不均勻的膜層或過大的應力，將導致差的優良率和不合格

的終端產品性能。 DektakXT 易于設定、測量快捷，通過不同位置的多點自動測量可確認整片硅表面上薄膜的準確厚度，其精度可達納米級別。 DektakXT 的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量，使其可以精確調節刻蝕和鍍膜工藝來提高產品的優良率。

混合電路的 DektakXT 3D 圖像

DektakXT 可以可靠測量厚度小于 10nm 的薄膜

測量表面粗糙度 — 確保材料質量

在自動化，航空航天，醫藥領域等各行各業，如果需要精確測量材料表面的粗糙度， DektakXT 是一個非常理想的檢測儀器。比如在整形手術中需要植入的假體，在其背面涂覆的羥基磷灰石，它的表面粗糙度會影響假體植入到體內后的黏附性和手術效果。使用 DektakXT 快速檢測材料表面的粗糙度，可以獲悉晶體材料的生長是否符合工程師的要求，或者手術所需的植入體是否通過醫學審核允許使用。使用 Vision64 軟件中的數據庫功能，設定合格/淘汰條件，品管人員可以輕松確定植入體是否需要再加工還是定為合格品。

人造膝關節背面羥基磷灰石涂層的表面粗糙度的 2D 掃描

太陽能電池柵線分析—— 降低生產成本

在太陽能領域，Dektak 已被作為測量單晶和多晶硅電池上主柵、銀線特征尺寸的首選設備。柵線的高度、寬度和連續性都直接影響了太陽能電池的能量傳輸能力。生產過程中的方案是節約貴金屬銀的使用量，同時又保證銀漿的量足夠覆蓋在電池板上，完成的電導特性。 DektakXT 可使用線條分析功能為用戶提供柵線的特征尺寸，以確保足夠的銀漿覆蓋，導電良好。 Vision64 的數據分析方法和自動操作功能使這一檢驗核實的過程可以通過特定設置后自動完成。

太陽能電池柵線的 DektakXT 3D 圖

DektakXT 追蹤分析的特性可以自動提供導線的寬度，高度，面積和高寬比，從而獲得太陽能電池的光電轉化效率。

微流體- 確保符合設計和質量要求

Dektak 是市場上可以測量敏感材質上高達 1mm 垂直臺階的臺階儀，而且測量重復性在埃米級別。 DektakXT 為微機電系統和微流體工業的研究者提供了關鍵尺寸測量的可靠手段，以確保器件符合規格要求。超微力測量， Nlite+，可以保證在測量敏感材質時輕觸

其表面而不破壞樣品表面，得到臺階高度或表面粗糙度數據。

DektakXT

技術規格
測量技術	探針式表面輪廓測量技術（接觸模式）
測量范圍	二維表面輪廓的測量可選擇三維測量及數據分析
樣品觀測	可選擇放大倍數，視場（FOV）范圍：Ito4mm
探針傳感器	低慣量傳感器（LIS3）
探針作用力	LIS 3傳感器中1到15mg
低作用力模式	N-Lite+低作用力0.03到15mg
探針選項	探針曲率半徑50nmto 25 pm 高徑比針尖（HAR） 10 pm x 2 pm and 200 pm x 20 pm;也可根據需求釆用用戶定制的針尖
樣品X/Y載物臺	手動X/Y （4英寸）：100mm100 mm,可手動校平馬達X/Y （6英寸）：150mm150mm,可手動校平
樣品R-G載物臺	手動,360度連續旋轉馬達,360度連續旋轉
計算機系統	64位多核并行處理器,Windows® 7.0系統;可選配23英寸平板顯器
軟件	Vision64操作分析軟件;應力測量軟件；懸臂偏轉測試軟件；選配：縫合軟件;3D應力分析軟件;3D測量軟件
隔振系統	多種隔振方案可供選擇
掃描長度范圍	55mm (2 英寸)
普次掃描數據釆集點	120,000最
大樣品厚度	50mm (2 英寸)
晶片尺寸	200mm (8 英寸)
臺階高度重復性	< 5A,測量1 pm臺階高度標準偏差
垂直方向掃描范圍	1mm (0.039 英寸)
垂直方向分辨率	分辨率可達1A （在6.55 pm測量范圍內）
輸入功率	100 -240 VAC, 50-60HZ
溫度范圍	可操作溫度為20到25 °C (68 to 77°F)
濕度范圍	< 80%無凝結
系統尺寸和重量	455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5m. H) 34kg (751bs.) 隔離罩：550mm L x 585mm W x 445mm H(21.6in. L x 23in. W x 17.5m. H) 21.7kg (481bs.)