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薄膜在線檢測系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2024-05-26 08:47:35瀏覽次數(shù)：104次

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產(chǎn)品簡介

圖片簡介我司不僅僅為客戶提供實(shí)驗(yàn)使用、科研需求的薄膜檢測、分析儀器，同時(shí)也為廣大工業(yè)用戶提供在線檢測的系統(tǒng)方案

詳細(xì)介紹

圖片

 

簡介

我司不僅僅為客戶提供實(shí)驗(yàn)使用、科研需求的薄膜檢測、分析儀器，同時(shí)也為廣大工業(yè)用戶提供在線檢測的系統(tǒng)方案。不僅可在線檢測導(dǎo)電薄膜的面電阻、膜厚、薄膜均勻性，并且可集成光學(xué)反射率、透過率等的功能。

 

 

規(guī)格參數(shù)

測量模式：非接觸式實(shí)時(shí)測量

襯底：foils, glass, wafer等

檢測間距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

傳感器數(shù)目：1 – 99

面阻范圍： 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依據(jù)面阻而定）

工作環(huán)境：真空 /  非真空  

工作溫度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）

采樣率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套設(shè)備（選配）：硬件觸發(fā) / 條形碼閱讀器

選配功能：導(dǎo)電膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等

 

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光譜反射分析系列：SR100、SR300、SR500等

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