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更新時(shí)間：2024-05-27 09:34:59瀏覽次數(shù)：167次
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Dilase250一款桌面式精密激光直寫(xiě)設(shè)備Dilase250是一款桌面式精密激光直寫(xiě)設(shè)備，非常適用于快速打樣、光刻掩模版加工以及微加工應(yīng)用
Dilase 250 一款桌面式精密激光直寫(xiě)設(shè)備
Dilase 250是一款桌面式精密激光直寫(xiě)設(shè)備，非常適用于快速打樣、光刻掩模版加工以及微加工應(yīng)用。Dilase 250采用KLOE公司研發(fā)的光路設(shè)計(jì)，具有較大的聚焦景深，該設(shè)計(jì)輔以自動(dòng)控制的參考標(biāo)準(zhǔn)，使之在無(wú)需設(shè)置自動(dòng)聚焦的情況下保證良好的直接精度和重復(fù)性。
我們專(zhuān)注于核心技術(shù)：
激光光源：
Dilase 250激光光源的波長(zhǎng)可以配置為375nm或405nm，從而滿足市場(chǎng)上大多數(shù)的商業(yè)化光刻膠的直寫(xiě)應(yīng)用。包括激光探頭在內(nèi)的Dilase250的整個(gè)光路系統(tǒng)都是固定的，這保證了設(shè)備在工作過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。
激光光斑聚焦系統(tǒng)
采用光學(xué)管技術(shù)，光源經(jīng)過(guò)濾波、均一、聚焦等處理，形成直寫(xiě)光斑，實(shí)現(xiàn)高精度激光直寫(xiě)。
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)采用該精度位移臺(tái)，驅(qū)動(dòng)樣品按照軟件設(shè)定的圖形進(jìn)行移動(dòng)，在此過(guò)程中，激光頭保持在固定位置，實(shí)現(xiàn)大尺寸、高精度、無(wú)拼接圖形直寫(xiě)。
技術(shù)特色：
1. 超大可視窗口
Dilase 250配備了一個(gè)超大可視窗口，可以直觀地觀測(cè)整個(gè)工作過(guò)程；同時(shí)，該窗口也方便操作人員完成上下料。
2. 高深寬比結(jié)構(gòu)加工
Dilase 250的聚焦光路設(shè)計(jì)使之可以輕松完成深寬比20：1的微結(jié)構(gòu)的加工，同時(shí)可定制滿足50：1深寬比結(jié)構(gòu)加工。
3. zui大直寫(xiě)面積：100mm*100mm
設(shè)備配置的精密位移臺(tái)滿足100mm*100mm尺寸樣品的直寫(xiě)，位移臺(tái)放置在大理石臺(tái)面上，并具備防震設(shè)計(jì)，保證設(shè)備的穩(wěn)定性。
4. 激光光源
采用高穩(wěn)定性固態(tài)激光器，波長(zhǎng)375nm或405nm可選，工作壽命大于10000小時(shí)，無(wú)需預(yù)熱等待。
5. 友好的操作系統(tǒng)
硬件方面設(shè)備配置預(yù)裝直寫(xiě)軟件的電腦一臺(tái)，設(shè)備上裝有主開(kāi)關(guān)和急停開(kāi)關(guān)，操作窗裝有安全傳感器，只有在操作窗口關(guān)閉情況下激光器才會(huì)開(kāi)啟，保證操作人員的安全。
設(shè)備預(yù)裝了DilaseSoft直寫(xiě)軟件，兼容LWO、GDS2、DXF格式文件。
6. 不同直寫(xiě)模式實(shí)現(xiàn)高速和高精度兼得
Dilase250是市場(chǎng)上一款具備三種直寫(xiě)模式的激光直寫(xiě)設(shè)備，即掃描模式、矢量模式和掃描+矢量模式，實(shí)現(xiàn)高速和高精度兼得。
規(guī)格參數(shù)
性能參數(shù)
分辨率： 100nm
線性直寫(xiě)速度：> 100mm.s-1
樣品臺(tái)位移精度：100nm standard 40nm optional
重復(fù)性誤差：100nm
多層對(duì)位精度： 1µm
定位精度：3µm / 100mm
直寫(xiě)精度：100nm +/- 3µm
正交性：<1mRad
激光光源
波長(zhǎng)： 375nm 或者 405nm
激光光斑： 1um-50um可選
樣品大小：From 3x3mm2 to 4" Up to 5" for square
zui大直寫(xiě)面積：100mm * 100mm
樣品厚度：250um – 5mm
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