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新一代曝光光刻機UV KUB 3

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

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更新時間：2024-05-27 10:04:45瀏覽次數(shù)：373次

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產(chǎn)品簡介

新一代曝光光刻機UVKUB3UVKUB3是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機，其采用365nm紫外LED冷光源以及高精密光學準直系統(tǒng)，可實現(xiàn)1um的光刻精度和小于2的發(fā)散角

詳細介紹

新一代曝光光刻機UV KUB 3

UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機，其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統(tǒng)，可實現(xiàn) 1um 的光刻精度和小于 2°的發(fā)散角。UV KUB 3采用開放式樣品盤，可以進行不同模式的曝光 光刻，如軟接觸或硬接觸模式；同時配備了高精密 的位移臺，輔以雙 CCD 成像系統(tǒng)，可在 5 分鐘內實 現(xiàn) 1um 的對位精度。

特色

  • UV LED 光源
  • 設計緊湊，操作簡單
  • 高精度 365nm +/- 5nm 單色光光源
  • 可進行軟接觸和硬接觸曝光光刻（含
  • 壓力測量傳感器）
  • 兼容目前市場上的全部光刻膠
  • 分辨率: < 1µm
  • 手柄自動巡航對位，對位精度: 1µm

 

主要性能

  • 365nm 單色 LED 光源，帶寬小于 10nm
  • 圖像輔助的自動巡航 PAD 操作對準定位系統(tǒng)
  • 采用高光強 LED 冷光源，避免光源發(fā)熱引起的溫度
  • 變化干擾，提高光刻面均勻性；
  • 光源壽命大于 10000 小時，減少維護及使用成本；
  • 可調節(jié) UV 光強
  • 友好的觸摸屏操作界面，可編程光刻工藝；
  • 無需預熱，快速開始進入工作狀態(tài)；
  • 全封閉紫外曝光區(qū)域，保障操作人員的安全；
  • 半自動晶圓上下料系統(tǒng)
  • 低功耗，節(jié)能環(huán)保

 

性能指標

  • 最小光刻尺寸 1µm
  • 對位精度 1µm
  • 紫外光源波長 365nm +/- 5nm
  • 光源光強 35mW/cm² +/- 10%
  • 光刻區(qū)域工作溫度變化 < 1°C
  • 工藝時間 (連續(xù)/非連續(xù)模式) From 1s to 1h
  • 可保存光刻工藝數(shù)量 無限制
  • 外形尺寸 475x480x515mm
  • 總重量 55kg / 121lbs
  • 觸摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
  • 供電電源 100V/240V –
  • 50Hz/60Hz
  • 功耗 180 Watts


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