在線晶圓測量機

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產品型號VCSEL-LIV-NF-FF

品牌

廠商性質其他

所在地深圳市

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更新時間：2025-01-03 18:47:33瀏覽次數：115次

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光譜儀

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萊森光學(深圳)有限公司

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產品簡介

VCSEL-LIV-NF-FF自動化在線晶圓測量系統由萊森光學專門針對基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測試/NF近場測試/FF遠場測試研發而成，特別適合晶圓線上自動化測量。

詳細介紹

VCSEL（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直共振腔表面放射激光）技術目前在在人臉識別、3D感測、汽車自駕駛、手勢偵測和VR(虛擬現實)/AR(增強現實)/MR(混合現實等應用領域越來越受到關注，萊森光學®可以為客戶提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF檢測解決方案：LIV光譜/功率積分測試、NF近場特性測試、FF遠場特性測試、BRDF/BTDF光學材料AR/VR特性測試、VCSEL積分球,實現對VCSEL單體、模組、及晶圓芯片的能量分布和均勻性測量、光譜波長及功率測量、近場遠場測量等各種定制化應用需求。
VCSEL-LIV-NF-FF自動化在線晶圓測量系統由萊森光學專門針對基于6寸 VCSEL晶圓得LIV光譜測試/NF近場測試/FF遠場測試研發而成，特別適合晶圓線上自動化測量。

主要技術特點

● 滿足ISO/IEC標準

● 晶圓大支持6寸

● 支持脈沖和CW模式

NF近場測試

主要技術指標

項目		規格	單位
晶圓參數	晶圓尺寸	≤6	inch
	晶圓厚度	100~3,000	μm
	晶圓曲度	≦10	mm
	芯片尺寸	150~3,000	μm
	襯底尺寸	≧50	μm
	光功率	0.1~10,000	mW
	波長	800~1,100	nm

LIV-NF-FF	LS-LIV-1000	LS-NF-2000	LS-FF-3000
測量能力	LIV和光譜功率測量	近場測試	遠場測試
測量能力	LIV，Leakage current漏電流，Ith閾值電流，Kink，中心波長（λc），峰值波長（λp），FWHM半高寬	光斑大小、橢圓度、發散角、功率分布等	斑發散角、能量空間分布、光斑準直度、對稱度（IEC60825-2）
溫控能力	5-85℃（標準），
電流源通道選擇	取決于DUT結構，可由PXI基礎配置
測量方法	雙極，25W /通道，4線，CW和QCW
電壓范圍	±100mV, ±300mV, ±600mV；±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V,
電流范圍	±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA
電流脈沖寬度	>100 μs
脈沖占空比	20％
光學測試模塊	帶標定積分球和光譜儀	帶自動對焦顯微鏡系統的CCD攝像頭	高速CCD攝像頭/標準板