非真空環境下的低溫測試，可達-100℃ ；大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動；0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試；.高等院校/研究所/公司實驗室使用；VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測試；可用于12英寸以內樣品測試；VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測試精密絲桿傳動結構，線性移動；器件的高頻特性測試

詳細介紹

產品特性

1. 非真空環境下的低溫測試，可達-100℃

2. 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計

3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動

4. 0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試

5. 高等院校/研究所/公司實驗室使用

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測試

7. 大可用于12英寸以內樣品測試

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測試

9. 精密絲桿傳動結構，線性移動

10. 器件的高頻特性測試（可至300GHz頻率）

主要技術指標

型號		LS-WPS150-TEC	LS-WPS200-TEC		LS-WPS300-TEC
外形		860mm長* 850mm寬* 700mm高	880mm長* 860mm寬* 750mm高		1400mm長* 920mm寬* 920mm高
重量		約150公斤	約170公斤		約250公斤
電力需求		220VC, 50~60Hz
樣品臺	尺寸	6英寸，可360度旋轉	8英寸，可360度旋轉		12英寸，可360度旋轉
	行程	X-Y行程6*6英寸	X-Y行程8*8英寸		X-Y行程12*12英寸
	移動精度	1um
	切換樣品功能	樣品臺快速拉出
	樣品固定方式	真空吸附
	電學運用	電學獨立懸空，可作為背電極使用
針座平臺	規格	O型平臺，多可以放置8個針座	O型平臺，多可以放置10個針座		O型平臺，多可以放置12個針座
	行程&調節方式	平臺可以快速升降，行程6mm，并帶自動鎖定功能；可以上下微調，行程25mm，升降精度1um
溫控特性	溫度范圍	-100~200℃		-80~200℃		-60~200℃
	溫控精度	溫度分辨率：0.01℃
	加熱電源	LVDC低壓直流
	低控溫速率	±0.1℃/小時
	制冷方式	液氮制冷
光學特性	顯微鏡行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	切換鏡頭方式	顯微鏡氣動升降
	放大倍數	16~100X/20~4000X
	鏡頭規格	目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配）
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）
點針規格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度	10pA/100fA（配置屏蔽箱時）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口
應用方向		高低溫環境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器測試，射頻測試等