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質量流量控制器使用前需了解的三要素

閱讀:33發布時間:2024-7-30



質量流量控制器通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。

質量流量控制器特點:較快的響應速度及穩定時間;精度高,重復性好;溫度和壓力不敏感;采用液晶觸控顯示和便捷控制;良好的重復性和再現性;高的精度及零點穩定性;電壓輸入,多種信號輸出方式。

質量流量控制器配備有316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片、電磁比例閥等,具有響應速度快、精度高、穩定性好等特點。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數字通信方式。在輸出方面,帶有液晶觸控顯示屏,具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。

質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。



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