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INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計

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更新時間：2024-08-15 10:44:13瀏覽次數(shù)：147次

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INFICONCDG100DSKY電容膜片真空計INFICONSKYCDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的

詳細介紹

INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計


INFICON SKY CDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的。為達到優(yōu)異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復(fù)快，預(yù)熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應(yīng)用中。

*性：

1、  低CoO（擁有成本），50%快速預(yù)熱，能效高，功耗低

2、  易整合于系統(tǒng)中，寬量程范圍，法蘭和接口，標準型號帶有兩個設(shè)點

3、  簡易的一鍵操作或遙控訊號調(diào)零指令，零點偏離可調(diào)

4、  診斷端口用于快速檢修和維護

5、  兩年保用期，采用的加熱概念和規(guī)管保護，真空計使用壽命長

6、  由于的訊號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使在嚴酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長期使用，無需重新校準

7、  符合標準：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1、  刻蝕，PVD,CVD和其它半導體生產(chǎn)過程

2、  化學和腐蝕性高溫過程

3、  需要真空計保護的常用薄膜和真空過程



關(guān)鍵詞：真空計 傳感器

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