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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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BPG400.pdfINFICONBPG400B-A型皮拉尼真空計（大氣壓至超高真空）INFICONBayard-Alpert皮拉尼復合真空計BPG400將Bayard-Alpert和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為5×10-10mbar至大氣壓（3.8×10-10Torr至大氣壓）
BPG400.pdf
INFICON BPG400 B-A 型皮拉尼真空計（大氣壓至超高真空）
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經濟型封裝，在低成本、可重復的過程中進行基礎壓力測量。
從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性
皮拉尼聯鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染
長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預
符合 RoHS 標準
低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
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