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更新時(shí)間:2024-10-13 09:51:18瀏覽次數(shù):99次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 智慧城市網(wǎng)簡(jiǎn)要描述: MFC-08在線配氣裝置,應(yīng)用高精度質(zhì)量流量計(jì)對(duì)氣體流量進(jìn)行控制,通過高性能氣體混合罐實(shí)現(xiàn)氣體均勻混合,通過軟件可針對(duì)每路氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制,并可進(jìn)行配氣應(yīng)用方案設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間段配氣濃度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。具備配氣精度高、應(yīng)用靈活、智能化等多個(gè)特點(diǎn)
■ 產(chǎn)品介紹
MFC-08在線配氣裝置,應(yīng)用高精度質(zhì)量流量計(jì)對(duì)氣體流量進(jìn)行控制,通過高性能氣體混合罐實(shí)現(xiàn)氣體均勻混合,通過軟件可針對(duì)每路氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制,并可進(jìn)行配氣應(yīng)用方案設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間段配氣濃度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。具備配氣精度高、應(yīng)用靈活、智能化等多個(gè)特點(diǎn)
■ 產(chǎn)品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線均勻混合
3、配氣方案智能控制,可對(duì)各組氣體流量進(jìn)行程序控制,可使各組氣體流量根據(jù)預(yù)設(shè)程序進(jìn)行調(diào)控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應(yīng)器等
6、混合、獨(dú)立等多種氣路外接方式
7、氣體預(yù)熱功能
8、智能氣路清洗功能
混氣裝置:采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術(shù)
控制系統(tǒng):全自動(dòng)控制,并可對(duì)配氣方案進(jìn)行程序控制,實(shí)現(xiàn)流量、使用氣體、使用時(shí)間的隨意編程
氣路系統(tǒng):使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式,使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好
氣路控制系統(tǒng):使用日本SMC電磁閥,并為每個(gè)氣路設(shè)置單向閥,已防止氣體逆行,所有電磁閥均由軟件控制配氣方案,可根據(jù)求,實(shí)現(xiàn)對(duì)每組氣體的流量進(jìn)行編程調(diào)整,即流量的多段控制
應(yīng)用氣體:NH3、N2、C3H8、C2H2、C3H4、SO2、CO2、NO2、CH4、Kr、HCl、O2、H2、NO、CO等
流量控制:0~200mL/min、100~500mL/min、500~1000mL/min 可選
工作壓差:(0.1 ~ 0.5) MPa
工作耐壓:3MPa
重復(fù)精度:±0.2%
工作精度:±1%
工作溫度:5 ℃ ~ 45 ℃
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