質譜儀在線配氣裝置系統產品概述
MFC-08在線配氣系統，應用高精度質量流量計對氣體流量進行控制，通過高性能氣體混合罐實現氣體均勻混合，通過軟件可針對每路氣體的流量進行調節和控制，并可進行配氣應用方案設計，實現不同時間段配氣濃度的自動調節。具備配氣精度高、應用靈活、智能化等多個特點
質譜儀在線配氣裝置系統產品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線均勻混合
3、配氣方案智能控制，可對各組氣體流量進行程序控制，可使各組氣體流量根據預設程序進行調控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類儀器、反應器等
6、混合、獨立等多種氣路外接方式
7、氣體預熱功能
8、智能氣路清洗功能
9、多種氣體應用可選
質譜儀在線配氣裝置系統技術參數
1、混氣裝置：采用異形氣體混合倉與氣體擾流板技術
2、控制系統：全自動控制，并可對配氣方案進行程序控制，實現流量、使用氣體、使用時間的隨意編程
3、氣路系統：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統耐腐蝕、氣密性好
4、氣路控制系統：使用日本SMC電磁閥，并為每個氣路設置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制
5、配氣方案：可根據求，實現對每組氣體的流量進行編程調整，即流量的多段控制
6、應用氣體：氨氣、氮氣、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪氣、、氧氣、氫氣、氧化氮、氧化碳等
7、流量控制：0-200毫升/分鐘、100-500毫升/分鐘、500—1000毫升 /分鐘可選
8、工作壓差：（0.1 ~ 0.5） MPa
9、工作耐壓：3 MPa
10、重復精度：±0.2 %
11、工作精度：±1 %
12、工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃
