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INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計(jì)系列

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INFICONSKYCDG025D電容式隔膜真空計(jì)系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能

詳細(xì)介紹

    INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計(jì)系列的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。高級(jí)數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。防腐蝕陶瓷傳感器具的零點(diǎn)穩(wěn)定性出色，預(yù)計(jì)壽命可達(dá)到數(shù)百萬(wàn)個(gè)加壓循環(huán)，包括突發(fā)大氣壓。的傳感器屏蔽（申請(qǐng)中）可防止儀表被過(guò)程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開(kāi)機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹(shù)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。



好處

●從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

●電源接通后快速穩(wěn)定

●暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

●防腐蝕陶瓷傳感器

●的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性

●溫度補(bǔ)償

●傳感器受防污染保護(hù)

●一鍵調(diào)零功能

●寬范圍電源


典型應(yīng)用

●用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

●數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備

●工業(yè)真空設(shè)備

●經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測(cè)量


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